Three dimensional accurate morphology measurements of polystyrene standard particles on silicon substrate by electron tomography

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1016/j.micron.2015.08.003
AuteurRechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut national de nanotechnologie
FormatTexte, Article
Sujetelectron tomography; (scanning) transmission electron microscopy ((S)TEM); polystyrene latex spheres; calibration sample; metrology; accurate shape measurement; surface energy; nanoparticle deformation; quantitative electron tomography
Résumé
Date de publication
Maison d’éditionElsevier
Dans
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC23001698
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Identificateur de l’enregistrementcc54dc45-2a52-4463-b4ca-abe279bd86de
Enregistrement créé2017-03-20
Enregistrement modifié2020-04-22
Date de modification :