Comparison of processes in radio-and microwave frequency plasmas by optical emission spectroscopy
Comparison of processes in radio-and microwave frequency plasmas by optical emission spectroscopy
Auteur | Rechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : |
---|---|
Affiliation |
|
Format | Texte, Article |
Conférence | 10th International Symposium on Plasma Chemistry, August 4-9, 1991, Bochum, Germany |
Date de publication | 1991 |
Dans | |
Langue | anglais |
Publications évaluées par des pairs | Oui |
Numéro NPARC | 21277527 |
Exporter la notice | Exporter en format RIS |
Signaler une correction | Signaler une correction (s'ouvre dans un nouvel onglet) |
Identificateur de l’enregistrement | 4d9a46b7-2307-4abc-b648-dbd308fa9e4d |
Enregistrement créé | 2016-04-05 |
Enregistrement modifié | 2020-03-17 |
- Date de modification :