Evaluation of electron tomography reconstruction methods for interface roughness measurement

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1002/jemt.23006
AuteurRechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher : 1
ÉditeurRechercher : Verkade, Paul
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Nanotechnologie
FormatTexte, Article
Sujetburied interface roughness; dose fractionation theorem; electron tomography; radiation damage; semiconductor devices
Résumé
Date de publication
Maison d’éditionWiley
Dans
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC23002836
Exporter la noticeExporter en format RIS
Signaler une correctionSignaler une correction (s'ouvre dans un nouvel onglet)
Identificateur de l’enregistrement397db106-39cc-4754-9031-903da3bda758
Enregistrement créé2018-03-09
Enregistrement modifié2020-03-16
Date de modification :