A simple wet etch for GaN

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1007/s11664-999-0254-0
AuteurRechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Résumé
Date de publication
Dans
Langueanglais
Numéro NPARC12328683
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Identificateur de l’enregistrementfd089cb8-b17b-429a-a44b-35dc78696c60
Enregistrement créé2009-09-10
Enregistrement modifié2020-03-20
Date de modification :