Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films (Sixth International Symposium)

Par Conseil national de recherches du Canada

ÉditeurRechercher : Sundaram, K. B.; Rechercher : Deen, M. J.; Rechercher : Landheer, D.1; Rechercher : Brown, W. D.; Rechercher : Misra, D.; Rechercher : Allendorf, M. D.; Rechercher : Sah, R. E.
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Livre
Conférence6th Symposium on Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films, 2001, Washington, D.C., USA
ISBN156677313x
Description physique286 p.
Résumé
Date de publication
Maison d’éditionElectrochemical Society
Série
Langueanglais
Numéro NPARC12346631
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Identificateur de l’enregistremente493d3d9-4afe-4f71-81a5-9b561d97f90a
Enregistrement créé2009-09-17
Enregistrement modifié2020-03-02
Date de modification :