Auteur | Rechercher : Maurice, V.; Rechercher : Marcus, P.; Rechercher : Mason, B.1; Rechercher : Lu, Z.1; Rechercher : Gao, L.; Rechercher : Sproule, G.1; Rechercher : Sudersena Rao, T.; Rechercher : Graham, M.1 |
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Affiliation | - Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
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Format | Texte, Article |
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Conférence | ECS/ESSDERC Symposium on Analytical Techniques for Semiconductor Materials and Process Characterization II, 1995 |
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Date de publication | 1995 |
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Dans | |
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Langue | anglais |
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Numéro NPARC | 12338196 |
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Identificateur de l’enregistrement | deaec3ed-0594-40eb-93cb-b342046687c1 |
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Enregistrement créé | 2009-09-10 |
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Enregistrement modifié | 2020-04-29 |
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