Characterization of (100)InP after surface passivation as studied by AFM, XPS and SIMS

Par Conseil national de recherches du Canada

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Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
ConférenceECS/ESSDERC Symposium on Analytical Techniques for Semiconductor Materials and Process Characterization II, 1995
Date de publication
Dans
Langueanglais
Numéro NPARC12338196
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Identificateur de l’enregistrementdeaec3ed-0594-40eb-93cb-b342046687c1
Enregistrement créé2009-09-10
Enregistrement modifié2020-04-29
Date de modification :