In situ reflectance measurements of soft-x-ray/extreme-ultraviolet Mo/Y multilayer mirrors

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1364/OL.20.001450
AuteurRechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Résumé
Date de publication
Dans
Numéro NPARC12327606
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Identificateur de l’enregistrementdb41f240-b509-4f74-9d85-1c892f7ab8f9
Enregistrement créé2009-09-10
Enregistrement modifié2020-04-29
Date de modification :