| DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1364/AO.41.003306 |
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| Auteur | Rechercher : Poitras, Daniel1; Rechercher : Dobrowolski, J. A.1; Rechercher : Cassidy, Tom1; Rechercher : Midwinter, Clive; Rechercher : McElroy, C. Thomas |
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| Affiliation | - Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
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| Format | Texte, Article |
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| Résumé | A black layer coating for an aluminum–photoresist interface with a reflectance less than 0.1% for 413-nm, s-polarized light incident at 25° is described. It is made of space-compatible materials, and its rms roughness is less than 15 Å. |
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| Date de publication | 2002-01 |
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| Dans | |
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| Langue | anglais |
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| Publications évaluées par des pairs | Oui |
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| Numéro NPARC | 21268065 |
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| Exporter la notice | Exporter en format RIS |
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| Identificateur de l’enregistrement | d8ffe21c-eeb2-4e16-b31f-c0d93468aeae |
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| Enregistrement créé | 2013-04-05 |
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| Enregistrement modifié | 2020-03-30 |
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