Structure characterization of AlN buffer layers grown on (0001) sapphire by magnetron sputter epitaxy

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1016/S0022-0248(02)01602-0
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Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
  2. Conseil national de recherches du Canada. Institut Steacie des sciences moléculaires du CNRC
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC12338420
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Identificateur de l’enregistrementd4fe075b-e547-4b56-bb5f-0823b8451829
Enregistrement créé2009-09-10
Enregistrement modifié2020-04-06
Date de modification :