Sélection de la langue

Gouvernement du Canada / Government of Canada

Recherche

Electrostatic actuator with liquid metal-elastomer compliant electrodes used for on-chip microvalving

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1088/0960-1317/22/9/097001
AuteurRechercher : ; Rechercher : ; Rechercher :
FormatTexte, Article
SujetCompliant electrodes; Elastomeric membranes; Flexible electrodes; Gas channels; Micro valves; On chips; Liquid metals; Valves (mechanical); Electrostatic actuators
Résumé
We describe a new class of electrostatic actuators with a compliant electrode made of liquid metal alloy contained by a thin elastomeric membrane. We illustrate the use of such actuators as on-chip microvalves for gas flow control. The microvalve comprises of one fixed electrode spanning the floor and sidewalls of the trapezoidal gas channel and one corresponding flexible electrode suspended across the channel. Details of fabrication and preliminary characterization of on/off and proportional valving are presented.
Date de publication
Dans
  • Journal of Micromechanics and Microengineering 22, nº 9, 97001 (2012).
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Publication du CNRC
Cette publication n’est pas du CNRC

Ce sont des publications qui ont été rédigées par un auteur du CNRC, mais avant que celui-ci soit employé du CNRC.

Numéro NPARC21270228
Exporter la noticeExporter en format RIS
Signaler une correctionSignaler une correction (s'ouvre dans un nouvel onglet)
Identificateur de l’enregistrementcfa7b48d-2b0a-4b25-9f44-45ecd31597f6
Enregistrement créé2014-01-14
Enregistrement modifié2020-04-21
Date de modification :