Deposition of iridium thin films using new IrI CVD precursors

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1002/1521-3862(20020116)8:1<17::AID-CVDE17>3.0.CO;2-3
AuteurRechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut Steacie des sciences moléculaires du CNRC
FormatTexte, Article
Sujet1,5-Cyclooctadiene; Aminoalkoxide; Hexafluorodiacetone; Imine; Iridium; Ketoiminate; Nobel metals
Résumé
Date de publication
Dans
Langueanglais
Numéro NPARC12329219
Exporter la noticeExporter en format RIS
Signaler une correctionSignaler une correction (s'ouvre dans un nouvel onglet)
Identificateur de l’enregistrementc738aca7-bdf4-453d-981c-fb7c9965bef6
Enregistrement créé2009-09-10
Enregistrement modifié2020-03-30
Date de modification :