Deposition and Characterization of LaS Lanthanum Monosulfide Thin Films Grown by Pulsed Laser Ablation

DOI	Trouver le DOI : https://doi.org/10.1109/IVNC.2005.1619571
Auteur	Rechercher : Lockwood, David¹; Rechercher : Fairchild, S.; Rechercher : Campbell, Anthony²; Rechercher : Cahay, M.; Rechercher : Semet, V.; Rechercher : Binh, Vu-Thien; Rechercher : Wu, X.
Éditeur	Rechercher : Wilshaw, P.; Rechercher : Hug, S.
Affiliation	Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences nutritionnelles et de la santé du CNRC
Format	Texte, Article
Conférence	18th International Vacuum Nanoelectronics Conference, 2005
Résumé	This work focuses on improving the crystalline property of the LaS thin films by improving the deposition conditions. Many factors can affect the quality of laser deposited films, including vacuum level, laser energy, laser repetition rate, substrate temperature, target to substrate distance, background gas pressure, and substrate bias.
Dans	Technical Digest of the 18th International Vacuum Nanoelectronics Conference : 233–234.
Identificateur	IEEE Cat 05TH8837
Numéro NPARC	12346237
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Identificateur de l’enregistrement	b7010cfa-73bf-4a37-a762-b360c2b3398a
Enregistrement créé	2009-09-17
Enregistrement modifié	2020-04-16