| Auteur | Rechercher : Ma, P.1; Rechercher : Dobrowolski, J. A.1; Rechercher : Poitras, D.1; Rechercher : Cassidy, T.1; Rechercher : Lin, F.1 |
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| Affiliation | - Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
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| Format | Texte, Article |
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| Conférence | 45th Annual Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters, April 13-18, 2002, Lake Buena Vista, Florida |
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| Date de publication | 2002 |
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| Dans | |
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| Langue | anglais |
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| Numéro NPARC | 12346522 |
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| Identificateur de l’enregistrement | ad03bc1a-610f-4a73-b95a-efb79b11a62d |
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| Enregistrement créé | 2009-09-17 |
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| Enregistrement modifié | 2020-03-30 |
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