Physics and Technology of High-k Gate Dielectrics 5

Par Conseil national de recherches du Canada

ÉditeurRechercher : Iwai, H.; Rechercher : Kar, S.; Rechercher : De Gendt, S.; Rechercher : Houssa, M.; Rechercher : Landheer, Dolf1; Rechercher : Misra, D.
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Chapitre de livre
Maison d’éditionThe Electrochemical Society
EmplacementPennington, NJ
Dans
Numéro NPARC12346786
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Identificateur de l’enregistrementa10c0451-ed7d-4b2d-953d-157d26c06c52
Enregistrement créé2009-09-17
Enregistrement modifié2020-03-03
Date de modification :