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Radiation damage in the TEM and SEM

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1016/j.micron.2004.02.003
AuteurRechercher : ; Rechercher : ; Rechercher :
FormatTexte, Article
Sujetelectron sputtering; radiation damage; radiolysis; scanning electron microscope; transmission electron microscope
Résumé
We review the various ways in which an electron beam can adversely affect an organic or inorganic sample during examination in an electron microscope. The effects considered are: heating, electrostatic charging, ionization damage (radiolysis), displacement damage, sputtering and hydrocarbon contamination. In each case, strategies to minimise the damage are identified. In the light of recent experimental evidence, we re-examine two common assumptions: that the amount of radiation damage is proportional to the electron dose and is independent of beam diameter; and that the extent of the damage is proportional to the amount of energy deposited in the specimen.
Date de publication
Dans
  • Micron 35, nº 6 (5 mars 2004) : 399–409.
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Publication du CNRC
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Numéro NPARC12338408
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Identificateur de l’enregistrement97ec4d46-7db6-4aa0-819b-efc254cdb1d7
Enregistrement créé2009-09-10
Enregistrement modifié2020-04-17
Date de modification :