Matrix effects in sims depth profiles of SiGe superlattices
Matrix effects in sims depth profiles of SiGe superlattices
DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1016/0168-583X(90)90907-C |
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Format | Texte, Article |
Conférence | Ninth International Conference on Ion Beam Analysis, June 26-30, 1989, Kingston, Ontario, Canada |
Date de publication | 1990-01-02 |
Maison d’édition | Elsevier |
Dans | |
Langue | anglais |
Numéro du CNRC | NRC-INMS-4347 |
Numéro NPARC | 8896706 |
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Identificateur de l’enregistrement | 82439d9f-fbfb-4556-acea-a9b4f45d72f4 |
Enregistrement créé | 2009-04-22 |
Enregistrement modifié | 2024-02-13 |
- Date de modification :