Cross-sectional resist profiles of dense nanoscale gratings and individual lines from electron beam lithography
Cross-sectional resist profiles of dense nanoscale gratings and individual lines from electron beam lithography
| Format | Texte, Article |
|---|---|
| Publications évaluées par des pairs | Oui |
| Numéro du CNRC | 480 |
| Numéro NPARC | 8926100 |
| Exporter la notice | Exporter en format RIS |
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| Identificateur de l’enregistrement | 81042d9f-6925-4f66-a25d-4d2b5be67392 |
| Enregistrement créé | 2009-04-23 |
| Enregistrement modifié | 2020-04-16 |
- Date de modification :