Femtosecond lasers and their implications for materials processing

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1117/12.309498
AuteurRechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada
FormatTexte, Article
ConférenceLaser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing V, January 26-28, 1998, San Jose, CA, USA
SujetLaser pulses; Light refraction; Micromachining; Semiconductor materials; Femtosecond lasers; Materials processing; Lasers
Résumé
Date de publication
Maison d’éditionSPIE
Dans
Série
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC21276185
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Identificateur de l’enregistrement74a61c28-296c-4be1-8dbb-910f050b4e1e
Enregistrement créé2015-09-28
Enregistrement modifié2020-03-20
Date de modification :