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Resist-free deposition of amorphous silicon dioxide from silicon ÃЂÅ¸-diketonates

Par Conseil national de recherches du Canada

FormatTexte, Autre
Numéro du CNRC81
Numéro NPARC8926495
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Identificateur de l’enregistrement71fff383-2334-405b-b1f7-f49ecbacfe78
Enregistrement créé2009-04-23
Enregistrement modifié2020-03-03
Date de modification :