Low-coherence interferometry – an advanced technique for optical metrology in industry

Par Conseil national de recherches du Canada

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DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1784/insi.47.4.216.63149
AuteurRechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des matériaux industriels du CNRC
FormatTexte, Article
ISSN1354-3296
1354-2575
Résumé
Date de publication
Dans
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro du CNRCNRCC 53760
Numéro NPARC15936193
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Identificateur de l’enregistrement639dcb2c-e3d6-4d7a-84ae-81911216eb80
Enregistrement créé2010-08-17
Enregistrement modifié2020-04-07
Date de modification :