Depth Sensing Indentation Studies on Thin Films of Si3N4 and SiO2

Par Conseil national de recherches du Canada

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Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut de recherche aérospatiale du CNRC
  2. Conseil national de recherches du Canada. Institut d'innovation en piles à combustible du CNRC
FormatTexte, Autre
Condition d’accès
  • unclassified/unlimited
Numéro du CNRCSMPL-1995-0050
Numéro NPARC8931068
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Identificateur de l’enregistrement588fc0ce-8108-42a1-afc1-9e01830d30eb
Enregistrement créé2009-04-23
Enregistrement modifié2020-03-03
Date de modification :