Fabrication of Lithographically-defined Optical Coupling Facets for SOI Waveguides by ICP Etching

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1116/1.2186657
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Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
  2. Conseil national de recherches du Canada. Institut de technologie de l'information du CNRC
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
Numéro NPARC12744384
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Identificateur de l’enregistrement4980ac5f-1212-416c-bf01-b2425458ec48
Enregistrement créé2009-10-27
Enregistrement modifié2020-04-22
Date de modification :