Laser-assisted dry etching ablation for microstructuring of III-V semiconductors

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1557/PROC-397-509
AuteurRechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Conférence1995 MRS Fall Meeting: Symposium B: Advanced laser Processing of Materials-Fundamentals and Applications, November 27-30, 1995, Boston, Massachusetts, U.S.A.
Résumé
Date de publication
Dans
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Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC12327174
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Identificateur de l’enregistrement465ad068-459c-43d4-a383-cad95c2bbbfd
Enregistrement créé2009-09-10
Enregistrement modifié2020-03-20
Date de modification :