Comparison of two different Ti/Al/Ti/Au ohmic metallization schemes for AlGaN/GaN

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1116/1.1491549
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Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
  2. Conseil national de recherches du Canada. Institut Steacie des sciences moléculaires du CNRC
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
Numéro NPARC12327519
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Identificateur de l’enregistrement3f45e54a-a91a-4f97-a1a8-b8d3e5b7936d
Enregistrement créé2009-09-10
Enregistrement modifié2020-04-06
Date de modification :