| Téléchargement | - Voir le manuscrit accepté : Transition of MEMS Technology to Nanofabrication (PDF, 1.2 Mio)
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| DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1166/jnn.2005.129 |
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| Auteur | Rechercher : Luesebrink, Helge; Rechercher : Glinsner, Thomas; Rechercher : Jakeway, Stephen C.; Rechercher : Crabtree, H. J; Rechercher : Cameron, Neil S.; Rechercher : Roberge, Helene1; Rechercher : Veres, Teodor1 |
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| Affiliation | - Conseil national de recherches du Canada. Institut des matériaux industriels du CNRC
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| Format | Texte, Article |
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| Résumé | The transition of MEMS technology to nano fabrication is a solution to the growing demand for smaller and highdensity feature sizes in the nanometer scale. Techniques for fabricating μm-, and nm-features will be discussed, and results achieved with nanoimprinting technologies will be presented. |
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| Date de publication | 2005-06-01 |
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| Dans | |
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| Langue | anglais |
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| Publications évaluées par des pairs | Oui |
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| Numéro du CNRC | NRCC 47610 |
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| Numéro NPARC | 15959398 |
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| Exporter la notice | Exporter en format RIS |
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| Identificateur de l’enregistrement | 32bf373e-a00d-48a7-893e-0e2c18968ca7 |
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| Enregistrement créé | 2010-11-02 |
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| Enregistrement modifié | 2020-04-07 |
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