Laser micromachining of the miniature functional mechanisms

Par Conseil national de recherches du Canada

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AuteurRechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des matériaux industriels du CNRC
FormatTexte, Article
ConférencePhotonics North 2004, September 26-29, Ottawa Ontario
Sujetlaser micromachining; miniature functional mechanisms; microactuator; microgripper
Résumé
Date de publication
Dans
Série
NoteSPIE paper No. 55780-77
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC21272511
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Identificateur de l’enregistrement313e34ce-dfdf-4f38-a190-c0fee324db41
Enregistrement créé2014-12-01
Enregistrement modifié2020-06-04
Date de modification :