Decoupling sensor morphology and material: atomic layer deposition onto nanocolumn scaffolds

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1016/j.snb.2011.08.024
AuteurRechercher : ; Rechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut national de nanotechnologie
FormatTexte, Article
SujetGlancing angle deposition; Atomic layer deposition; TiO2; Si; SiO2; Relative humidity; Sensors
Résumé
Date de publication
Dans
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
IdentificateurS0925400511007477
Numéro NPARC21268876
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Identificateur de l’enregistrement15267506-a848-4a09-9b0e-04961d0d197e
Enregistrement créé2013-11-21
Enregistrement modifié2020-04-21
Date de modification :