Fabrication of nanoelectromechanical resonators using a cryogenic etching technique
Fabrication of nanoelectromechanical resonators using a cryogenic etching technique
| Autre titre | Journal of Vacuum Science & Technology B |
|---|---|
| Format | Texte, Autre |
| Date de publication | 2006 |
| Numéro du CNRC | 477 |
| Numéro NPARC | 8926540 |
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| Identificateur de l’enregistrement | 11fc1ca8-5e03-4e96-8445-c620110ec81b |
| Enregistrement créé | 2009-04-23 |
| Enregistrement modifié | 2020-03-03 |
- Date de modification :