Single-etch grating coupler for micrometric silicon rib waveguides

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1364/OL.36.002647
AuteurRechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : 1Identifiant ORCID : https://orcid.org/0000-0003-4232-9130; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Sujet3 dB bandwidth; additional costs; Bloch modes; coupling efficiency; device characterization; excitation field; fiber chip coupling; grating couplers; higher order; I-line steppers; multimodes; nanometrics; rib waveguides; silicon rib waveguides; silicon wire waveguides; silicon-on-insulators; wafer-scale; waveguide mode; silicon wafers; waveguides
Résumé
Date de publication
Dans
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC21271492
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Identificateur de l’enregistrement0d3a9249-5119-487c-8e41-4ad22c366e26
Enregistrement créé2014-03-24
Enregistrement modifié2020-04-21
Date de modification :