Structure damage in reactive-ion and laser etched InP/GalnAs microstructures

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1063/1.360763
AuteurRechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
SujetAES; ATOMIC FORCE MICROSCOPY; DAMAGE; ETCHING; GALLIUM ARSENIDES; INDIUM ARSENIDES; INDIUM PHOSPHIDES; ION BEAMS; LASER RADIATION; MULTILAYERS; RAMAN SPECTRA
Résumé
Date de publication
Dans
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC12327308
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Identificateur de l’enregistrement06e83d00-7373-4328-99aa-d2728b62725f
Enregistrement créé2009-09-10
Enregistrement modifié2020-04-29
Date de modification :