High-quality hole drilling in alumina wafers using femtosecond laser

Par Conseil national de recherches du Canada

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Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des matériaux industriels du CNRC
FormatTexte, Rapport technique
Description physique20 p.: ill.
SujetAl2O3; femtosecond laser; via holes drilling
Résumé
Date de publication
Maison d’éditionNational Research Council of Canada. Industrial Materials Institute
Série
Langueanglais
Numéro du CNRCNRCC 49166
Numéro NPARC21274374
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Identificateur de l’enregistrement06125714-ba19-4245-93f7-b378529755f7
Enregistrement créé2015-03-11
Enregistrement modifié2022-09-13
Date de modification :